大连洁净室设备安装调试维修中心

大连洁净室设备安装调试维修中心——大连川泽净化工程有限公司指出：压差的实质是:新风量与排风量+压差风量之间的平衡.

直流系统：新风量 = 排风量+压差风量

循环系统：新风量+回风量=回风量+排风量+压差风量

本质是：新风量 = 排风量+压差风量

因此,洁净室压差建立的调整,都应体现新风量与排风量+压差风量之间的平衡:

(1)对直流系统,送入一定的风量,调节排风量至压差值的建立;

(2)对循环系统,送入一定的风量,一般可按要求调整排风量,然后调节回风量,建立压差值;

(3)当某些洁净室无排风时,则调节风量至压差值的建立.

洁净室送入风量要求一定,因此不能作为控制的变量。

引起洁净室压差波动的外扰因素及常用的基本对策如下:

(1)HVAC系统阻力变化,主要是过滤器阻力的变化,会引起送风量的变化,影响室内压差的波动.对其控制较易,只要运行到一定时期后系统阻力变化至一定值时,人工及时调整便可.亦常在用定风量阀控制压差时,能自动维持送风量不变,亦有采用变速的送风机,以过滤器压差进行风机转速控制,维持风量一定。

(2)室外风压的变化(室外风向及风速等引起),会影响洁净室的压差风量,引起室内压差的波动.对其控制也较容易,要求:围护结构及门的气密性好;洁净室对室外保持≥10Pa压差，相邻洁净室间保持≥5Pa压差，当室外风压对洁净相当不利时，尚能维持洁净室内的一定压差而不致出现问题。

(3)洁净室门的启、闭，会引起洁净室压差的波动。门开启时，两洁净室的压差不能维持，空气会双向交换，其交换量与两室间的空气温差有关，亦与人的走动有关，国外有研究认为在Δt=0℃，双开门的空气交换量约为0.19m3/s; Δt=2℃,则达0.24m3/s.

为防止反向流的出现,则流经门的空气速度应>0.2m/s(ISO 14644-4中提及的维持低压差时所需的气流速度);在工程中,国外常采用0.25m/s~ 0.5m/s的气流速度.

图1为国外有关研究的资料 ——门开着时，所需的隔离风量亦即所需流经门的风量，在此风量下才能保持低压差而无反向流出现。

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